15/08/1965 tarihinde yürürlüğe giren 633 sayılı “Diyanet İşleri Başkanlığı Kuruluş ve Görevleri Hakkında Kanun”dan önce, Başkanlık bünyesinde inceleme ve soruşturma işlemlerini yürüten herhangi bir birim teşkil edilmediğinden bu hizmetler mahallince yürütülmüş ve Başkanlığın gerekli gördüğü zamanlarda inceleme ve soruşturma hizmetleri konusunda “Gezici Vaizler”e görev verilmiştir.
633 sayılı Kanun’un 9’uncu maddesiyle Diyanet İşleri Başkanlığı bünyesinde doğrudan Başkana bağlı olarak, Başkanlığın bütün işlerini Başkan adına teftiş etmek, hizmeti ve hizmetlileri denetlemek ve soruşturma yapmak üzere “Teftiş Kurulu Başkanlığı” kurulmuştur. Kurulun yetkileri ve çalışma usullerini belirlemek amacıyla 21/05/1971 tarihinde “Diyanet İşleri Başkanlığı Teftiş Kurulu Tüzüğü” yürürlüğe konmuştur. Daha sonra zaman içinde ihtiyaca göre bu tüzükte gerekli değişiklikler yapılmıştır. Söz konusu tüzük gereği yayımlanan yönetmelik ve buna bağlı olarak yürürlüğe konulan yönergeyle belirlenen çerçeve içerisinde birim çalışmaları 13/07/2010 tarihine kadar yürütülmüştür.
“Diyanet İşleri Başkanlığı Kuruluş ve Görevleri Hakkında Kanun”da, 13/07/2010 tarihinde yürürlüğe giren 6002 sayılı kanunla köklü değişiklikler yapılmış ve “Teftiş Kurulu” ismi, “Rehberlik ve Teftiş Başkanlığı” şeklinde değiştirilmiş ve yeni düzenlemeler getirilmiştir. 633 Sayılı Kanunun 7’nci maddesinin “g” fıkrasında Rehberlik ve Teftiş Başkanlığının görev ve yetkileri belirlenmiş, 11’inci maddesinde ise Müfettiş ve Müfettiş Yardımcılarının yarışma ve yeterlik sınavlarının şekil ve uygulama esasları ile çalışma usul ve esaslarının genel hatları belirlenerek diğer hususların yönetmelikle belirleneceği hükme bağlanmıştır. Bu çerçevede, Diyanet İşleri Başkanlığı Teftiş Kurulu Tüzüğü 26/08/2011 tarihinde yürürlükten kaldırılmış, 21/05/2011 tarihli Resmi Gazetede Rehberlik ve Teftiş Başkanlığı Yönetmeliği, 22/08/2011 tarihli ve 72 sayılı Başkanlık Onayı ile Rehberlik ve Teftiş Başkanlığı Yönergesi, 14/07/2011 tarihli ve 953 sayılı Makam onayına istinaden de “Denetim Standartları ve İlkeleri” yürürlüğe konulmuştur.